●参数指标：
仪器型号：日本日立S-4800
工作电压：0.5 ~ 30kV
放大倍数：×20～×800,000万倍
最小分辨率：1nm（15kV）、1.4nm（1kV）
电制冷能谱仪元素分析范围：Be4-U92
●技术特点：
采用的E×B技术，可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。配有X-射线能谱仪，可在形貌观察的同时进行样品成分分析。
●应用范围：
应用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、生物学、医学、地质勘探、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。例如在材料科学上主要的应用有工程材料断口分析及微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析及层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析。